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11月15日，應科技處、機電工程學院邀請，日本國立產(chǎn)業(yè)技術綜合研究所前田龍?zhí)山淌谧隹臀倚！扒把乜茖W報告”，作了題為“Piezoelectric MEMS”的英文學術報告。此次報告會采用線上與線下相結合方式，由機電學院常博教授主持，副院長楊立軍教授、李晨副教授和微納機電研究所全體教師及部分研究生聆聽了此次精彩報告。

前田龍?zhí)山淌谑紫纫曰趬弘姴牧系奈C電系統(tǒng)（MEMS）為出發(fā)點，從壓電材料原理、日本壓電微器件發(fā)展現(xiàn)狀、微機電系統(tǒng)市場發(fā)展與需求探討MEMS的發(fā)展趨勢。報告詳細介紹了壓電材料薄膜制備方法與工藝，壓電MEMS微加工流程與工藝，以及封裝關鍵工藝參數(shù)。報告最后分享了日本國立產(chǎn)業(yè)技術綜合研究所（AIST）開發(fā)的基于壓電MEMS技術的掃描微振鏡器件、禽流感傳感器、原子力顯微鏡探針、靜電力傳感器與振動傳感器等微器件。報告結束后，學院師生積極向前田龍?zhí)山淌谡埥剃P于壓電MEMS制作工藝、器件設計、發(fā)展趨勢等問題，前田龍?zhí)山淌谂c師生熱情交流。

微機電系統(tǒng)（MEMS）是在微電子技術基礎上發(fā)展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技機械電子器件，是一項關系到國家科技發(fā)展和國防安全的關鍵技術?；贛EMS技術的傳感器、致動器與微系統(tǒng)是推動智能制造、物聯(lián)網(wǎng)、數(shù)字孿生以及元宇宙發(fā)展的重要技術基礎。此次報告通過師生與國際上知名學者的學術交流活動，進一步促進我校國際科技交流與合作，推動我校微機電系統(tǒng)方向的發(fā)展。

新聞小貼士：

前田龍?zhí)?，西安交通大學教授、博士生導師，日本國立產(chǎn)業(yè)技術綜合研究所（AIST）名譽研究員、東京大學客座研究員。世界知名、日本著名的微納加工制造領域、先進MEMS領域以及智能物聯(lián)網(wǎng)領域專家。主要研究方向為，三維納加工工藝，微機電系統(tǒng)（MEMS），基于微機電系統(tǒng)（MEMS）的低能耗傳感器，基于以上開發(fā)的先進傳感器及其集成技術，無線傳感器的植入技術，進行實驗動物和畜產(chǎn)動物的長期健康監(jiān)測，以及醫(yī)學手術輔助系統(tǒng)的研究和開發(fā)。

（核稿：夏祥林 編輯：郭姍姍）